更新時間：2023-05-25
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供應SAT-5D等離子鍵合儀/刻蝕，等離子鍵合儀/刻蝕采用高頻13.56Mhz射頻電源,掃頻自動匹配，穩定可靠，具有自動保護功能。
| 品牌 | 賽奧特（SAT) | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 醫療衛生,生物產業,石油,能源,電子 |
型號：SAT-5D | 品牌：賽奧特（SAT） |
不銹鋼/石英艙體 | Φ150 mm×L255mm |
工作氣路 | 兩路，可以選配MFC控制 |
射頻頻率 | 13.56MHz |
射頻功率 | 0-150W，可調，掃頻自動匹配 |
控制系統 | 液晶屏+薄膜數字按鍵，實時顯示和檢測艙內真空度值 |
時間范圍 | 0—99分59秒連續可調 |
工作壓力 | 樣品倉內200Pa以內根據進氣量自動調節 |
工作氣體 | 空氣、氧氣、氮氫混合氣、氬氣、氮氣及其他惰性氣體與混合氣體均可 |
進氣壓力 | 空氣：常壓 連接氣體鋼瓶：0.1-0.3Mpa |
工作模式 | 手動模式和程序化自動模式 |
真空泵 | 抽速：1升到5升每秒 |
輸入電源 | ~220V／50Hz |
整機尺寸（D*W*H） | 552X590X295mm |
重量（約） | 28Kg |
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